edwards爱德华epx180l半导体干式真空泵维修保养

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应用目标应用包括：负载锁计量传输腔

灰化/剥离

PVD

爱德华EPX 180真空干泵

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 小工具上泵之一，EPX节省了 占地面积。铝制构造

使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装

成本，如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的泵机构 - EPX 可以抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压

力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有

高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度

地延长了泵的。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

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