大宗特气供气系统主要针对-量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） -规模集成电路厂（气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等），100mw以上的太阳能电池生产线（气体种类包括nh3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括nh3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、nf3）、光纤（气体种类包括sicl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括hcl）等行业。它们的投资规模-，采用1-的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间-应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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首先，应对特气的危害性进行分析，通过本质安全设计，消除安全-。根据行业规范，对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和-测漏，-系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统，机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。
其次，采用监测手段，预防事故发生。设置气体泄漏侦测器，监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。危险气体应设置过流开关。特气系统气柜应进行负压监测，防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。
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随着科技的迅猛发展，-质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的-质谱检漏仪，广泛应用丁航空航天，高纯供气系统哪里有，电力电子，汽车等各个行业，综观1新-质谱检漏仪的性能特点发现，-质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等-方向发展，这些特点-地满足了当前检漏应用的需求，也-地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。
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