氮化硅的很多性能都归结于此结构。纯si3n4为3119，有α和β两种晶体结构，均为六角晶形，其分解温度在空气中为1800℃，在110mpa氮中为1850℃。si3n4 热膨胀系数低、导热率高。热压烧结的氮化硅加热到l000℃后投入冷水中也不会。在不太高的温度下，si3n4 具有较高的强度和抗冲击性，但在1200℃以上会随使用时间的增长而出现破损，使其强度降低，在1450℃以上更易出现疲劳损坏，所以si3n4 的使用温度一般不超过1300℃。
反应烧结法（ rs)
是采用一般成型法，先将硅粉压制成所需形状的生坯，废旧耐火砖，放入氮化炉经预氮化（部分氮化）烧结处理，废旧耐火砖大量回收，预氮化后的生坯已具有一定的强度，可以进行各种机械加工（如车、刨、铣、钻).。然后，废旧耐火砖常期回收，在硅熔点的温度以上；将生坯再一次进行完全氮化烧结，得到尺寸变化很小的产品（即生坯烧结后，收缩率很小，线收缩率< 011% ). 该产品一般不需研磨加工即可使用。反应烧结法适于制造形状复杂，尺寸正常的零件，成本也低，但氮化时间很长。
氮化硅与水几乎不发生作用；在浓强酸溶液中缓慢水解生成铵盐和二氧化硅；易溶于，与稀酸不起作用。浓强碱溶液能缓慢腐蚀氮化硅，熔融的强碱能很快使氮化硅转变为硅酸盐和氨。氮化硅在 600℃以上能使过渡金属（见过渡元素）氧化物、氧化铅、氧化锌和二等还原，并放出氧-和二氧-。1285℃ 时氮化硅与二氮化三钙ca3n2发生以下反应：
ca3n2+si3n4─***3casin2
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